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净化小课堂来临-关于电子车间净化工程洁净度的特点【东鑫净化】

文章出处 : http://protook.com/ 作者 : 东鑫净化 人气 : 28 发表时间:

芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子车间净化工程产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。关于电子车间净化工程的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定),这时可有效地去除静电使人感觉舒适。

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1、电子车间净化工程内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。

2、电子车间净化工程垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

3、电子车间净化工程室内与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

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4、电子车间净化工程内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:

(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

(3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,保证电子厂房净化工程空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子洁净室的送风量;向电子无尘室内供给的新鲜空气量。


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